Chauffage pour l'industrie des semi-conducteurs

PyrAlloy est un composite hyperconducteur de graphite recuit thermiquement (1500 watts/m-K) qui est fusionné à l’intérieur d’une plaque chauffante avec l’élément chauffant pour produire une distribution uniforme de la température sur la surface d’une plaque chauffante.

PyrAlloy est un composite breveté composé d’une couche de graphite pyrolytique thermique et d’un élément chauffant brasé sous vide dans des plaques en acier inoxydable pour produire une plaque chauffante.

Ce composite à haute conductivité thermique distribue efficacement la chaleur, en abaissant la température diélectrique interne sur l’élément chauffant. Cela réduit le courant de fuite à des températures élevées, ce qui augmente la température maximale de l’appareil de chauffage.

Les plaques chauffantes en alliage de PyrAlloy peuvent produire une uniformité de température de +/- 0,5 % et des températures nominales maximales jusqu’à 600 °C en acier inoxydable.

Des applications similaires peuvent être produites en aluminium.